VCSEL-TOF測量解決方案

VCSEL（Vertical Cavity SurfaceEmitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）是一種垂直于襯底面射出激光的半導體激光器，有區(qū)別于傳統(tǒng)的邊發(fā)射半導體激光器如F-P激光器(法布里-珀羅激光器)、DFB（分布式反饋激光器）。當前以砷化鎵半導體為基礎(chǔ)材料的VCSEL居多，發(fā)射波長主要為近紅外波段，其可以在襯底上多個方向上排列多個激光器，從而形成并行光源或者面陣光源，是光纖通信或者光感測領(lǐng)域的主要光源之一。

VCSEL集高輸出功率、高轉(zhuǎn)換效率和高質(zhì)量光束等優(yōu)點于一身，相比于LED和邊發(fā)射激光器EEL，在精確度、小型化、低功耗、可靠性等角度全方面占優(yōu)勢。

IR LED、EEL、VCSEL出光質(zhì)量比較

一、工作原理

VCSEL結(jié)構(gòu)一般由上、下布拉格反射鏡(DBR)和中間有源區(qū)三部分組成，2.其典型的外延結(jié)構(gòu)如下圖所示從下到上依次是襯底、N型接觸層、N型DBR、量子阱有源區(qū)、P型DBR、P型接觸層。其中有源區(qū)為器件最重要的組成部分，由于VCSEL腔長極短，需要腔內(nèi)有源介質(zhì)對激射模式提供較大的增益補償。

典型VCSEL結(jié)構(gòu)剖面示意圖

VCSEL 器件有兩種基本結(jié)構(gòu)，一種是長一層增透膜以提高激光光束質(zhì)量，最后將增：采用MOCVD 技術(shù)在N型GaAs 襯底上生長而成，以DBR 作為激光腔鏡，量子阱有源區(qū)夾在N-DBR 和P-DBR 之間。另一種是底發(fā)射結(jié)構(gòu)，一般用于產(chǎn)生976-1064nm 波段，通常將襯底減薄到150μm 以下以減少襯底吸收損耗，再生長一層增透膜以提高激光光束質(zhì)量，最后將增益芯片安裝在熱沉上。

激光器就是利用半導體中的電子光躍遷引起光子受激發(fā)射而產(chǎn)生光振蕩器和光放大器的總稱，其產(chǎn)生激光同樣要滿足以下三個基本條件：

1、建立有源區(qū)內(nèi)載流子的反轉(zhuǎn)分布；

2、合適的諧振腔使受激輻射在其中得到多次反饋形成激光振蕩；

3、提供足夠強的電流注入使得光增益大于或者等于各種損耗之和，滿足一定的電流閾值條件。

二、測量方案

TOF（Time of flight）飛行時間法

TOF飛行時間法是一種深度信息測量方案，主要由紅外光投射器和接收模組構(gòu)成。因為其原理簡單，精度達到厘米級，具有儀器體積小、測程遠、功耗低、測量快速、易于實現(xiàn)、抗干擾能力強等優(yōu)點。對于工業(yè)應(yīng)用與技術(shù)研究而言有著重要的意義，得到了廣泛的應(yīng)用。例如，iPhone 12手機的TOF相機，能實現(xiàn)拍攝時的人像3D建模，輔助成像算法、還有測距儀、Face ID人臉識別解鎖的功能；掃地機器人的自動避障、汽車上的激光雷達、無人駕駛功能都應(yīng)用到了TOF技術(shù)。時至今日，連門鎖、筆記本電腦都出現(xiàn)了TOF的身影，未來TOF能夠突破性的將現(xiàn)實世界物體、人像、空間虛擬化，必將是5G移動互聯(lián)網(wǎng)最重要的應(yīng)用場景之一。下面就對TOF的基本原理展開描述。

TOF原理

TOF技術(shù)是將時間維度的信息轉(zhuǎn)換為空間維度信息的方法，基本原理是通過連續(xù)發(fā)射光脈沖到被測物體上，然后接收從物體反射回去的光脈沖，通過探測光脈沖的飛行（往返）時間來計算被測物體離探測器的距離。

其本質(zhì)原理是我們在小學時就學過的公式：距離 = 速度 * 時間

所以只要測定出光的運動時間，就能測出其飛行距離。自然界有很多動物天生就具備類似的能力，最典型的就是我們熟知的蝙蝠和海豚。它們都能夠通過發(fā)出特定頻率的聲波并捕捉回聲，進而判斷前方物體的距離。

蝙蝠回聲定位

海豚回聲定位

但聲波的傳播速度為340米/秒，而光在真空中的速度是299792458米/秒，使用激光去測量距離響應(yīng)更快。利用這個信息，以及光飛行的時間，就可以求出光源和目標之間的距離。

搭建實驗光路如下圖所示，控制兩個高速PD到光源的距離相等，這時探測到的響應(yīng)時間是一致的，把測試高速PD后移30cm（光走過路程多 30cm），探測到的響應(yīng)時間就差距1ns。

VCSEL-TOF測試方案（TOF飛行時間法）整體實物圖

實驗光路

步驟1：

TOF飛行時間法測量原理圖1

步驟2：

TOF飛行時間法測量原理圖2（測試高速PD后移30cm）

實物展示

 TOF飛行時間法測量實物圖1

 TOF飛行時間法測量實物圖1（測試高速PD后移30cm）

數(shù)據(jù)說明

飛行時間測試-原始光路測試數(shù)據(jù)

飛行時間測試-測試高速PD后移30cm后測試數(shù)據(jù)

在實際使用中，通常由激光發(fā)射器同時發(fā)射兩束激光驅(qū)動脈沖。其中一束用于產(chǎn)生計時起始信號，時間測量電路接收到起始信號時開始計時；另一束驅(qū)動激光器發(fā)射激光至目標表面，由目標反射后回到回波檢測電路并由回波檢測電路產(chǎn)生計時結(jié)束信號，時間測量電路接收到計時結(jié)束信號時停止計時。最終根據(jù)時間測量電路計時結(jié)果并結(jié)合激光飛行速度計算距離。激光飛行時間測量值是測距誤差的主要來源，所以高精度的探測器尤為重要。

萊森光學高速PD帶寬范圍≥1.4 GHz，可以檢測從恒定光到高速上升時間低至 280 ps 的光信號，可以精確捕捉到飛行時間。高速激光光譜功率積分球測試儀由萊森光學專門針對高速激光雷達發(fā)射VCSEL激光測試而設(shè)計，不需要進行復(fù)雜的LIV、PCE功能測試分析和研發(fā)，該系統(tǒng)性價比高，且小型化、輕量化，小體積，方便安裝，特別適合于工業(yè)用戶和自動化集成廠商。

高速納秒級激光峰值功率測量

萊森光學高速PD帶寬范圍從 DC 到 1.4 GHz，可以檢測從恒定光到高速上升時間低至 280 ps 的光信號，測試功率范圍3-1500mW，光譜范圍320-1000nm，可以檢測ns級別的脈沖激光功率。高速激光光譜功率積分球測試儀由萊森光學專門針對高速激光雷達發(fā)射VCSEL激光測試，不需要進行復(fù)雜的LIV、PCE功能測試分析測試研發(fā)而成，該系統(tǒng)性價比高，特別適合于工業(yè)用戶和自動化集成廠商。小型化、輕量化，小體積，方便安裝。根據(jù)VCESL/LD的發(fā)散角和輸出功率要求，可選擇不同規(guī)格的積分球，積分球內(nèi)徑尺寸分為：1/2吋、1吋、2吋、4吋、3吋、6吋、8吋等。

高速納秒級激光峰值功率測量方案整體實物圖

實驗光路

高速納秒級激光峰值功率測量原理圖

實物展示

高速納秒級激光峰值功率測量局部圖

高速積分球功率探頭局部圖

高速功率探頭實物圖

數(shù)據(jù)說明

峰值功率測試數(shù)據(jù) 

方案技術(shù)參數(shù)

平均功率測量

脈沖激光的平均功率可由脈寬、峰值功率、周期算出。在實現(xiàn)納秒級激光功率測量的同時，它還可以集成iSpec-VCS-IND光譜功率積分球測試儀監(jiān)測激光平均功率，比較高速PD與光譜功率積分球測試儀兩者測量結(jié)果可以檢驗測量結(jié)果是否準確。

iSpec-VCS-IND光譜功率積分球測試儀支持在線集成測量和機臺集成商二次開發(fā)，可實現(xiàn)連續(xù)和脈沖激光功率（光譜峰值功率、平均功率）、光譜峰值波長、FWHM、占空比等功能的測量?？梢栽O(shè)置采用頻率，PD和光譜儀觸發(fā)同步測量?？蛇x配溫度控制模塊，控溫范圍5℃~95℃。同時配有NIST溯源標定，根據(jù)DUT發(fā)散角和功率大小，可選擇1吋- 8吋不同尺寸激光功率積分球。

實驗光路

n平均功率測量實驗光路示意圖1

平均功率測量實驗光路示意圖2

實物展示

一體式激光功率光譜測量儀

分體式激光功率光譜測量儀 

技術(shù)參數(shù)

三、應(yīng)用領(lǐng)域

隨著VCSEL芯片技術(shù)的成熟，以其作為核心元件的3D Sensing走入應(yīng)用，在活體檢測、VR（虛擬現(xiàn)實）/AR（增強現(xiàn)實）/MR（混合現(xiàn)實）技術(shù)、人臉識別、虹膜識別、汽車自動駕駛、智能設(shè)備的3D感測、3D成像、物聯(lián)網(wǎng)、數(shù)據(jù)中心/云計算、手勢偵測以及機器人識別和機器人避險、自動駕駛輔助等應(yīng)用領(lǐng)域得到發(fā)展。

3D成像

汽車自動駕駛

3D檢測行人和車輛規(guī)避風險

智能設(shè)備的3D感測-掃地機器人

人臉識別

虹膜識別

手勢偵測

物聯(lián)網(wǎng)-客流統(tǒng)計分析系統(tǒng)

VR（虛擬現(xiàn)實）/AR（增強現(xiàn)實）/MR（混合現(xiàn)實）技術(shù)

蘋果iPad Pro中的VCSEL

數(shù)據(jù)中心/云計算

第一顆由量子技術(shù)控制的衛(wèi)星計劃于2027年發(fā)射到太空

當我們進行VCSEL-TOF測量時，配件的選擇同樣不可小覷。整套解決方案的每個部分都和測量結(jié)果的可靠性和準確性密切相關(guān)。接下來我們就VCSEL-TOF測量解決方案光譜配件進行詳細分析。

激光功率積分球：

主要針對激光進行設(shè)計，是測量激光光輻射總功率的理想選擇。得益于激光功率積分球獨特的幾何結(jié)構(gòu)，激光束功率測量不會受到激光束的偏振和校準的影響。激光功率積分球能夠滿足用戶在VCSEL、激光功率測量、激光和激光二極管輸出特性檢測等應(yīng)用方面的需求。

萊森光學激光功率積分球需要搭配萊森光學功率主機和LiSpecView-VCS光譜功率測量軟件實現(xiàn)光譜功率測量，用戶也可以靈活搭配自己的電流表進行功率測量。

高分辨率光譜儀：

LiSpec-HR系列高分辨率光譜儀采用了2048/4096像元CMOS探測器，其獨有的大焦距光學平臺設(shè)計，使得信噪比更高，速度更快，可靠性穩(wěn)定性好，更適合于高分辨率光譜波長的檢測，同時結(jié)構(gòu)緊湊、具有雜散光低及良好的熱穩(wěn)定性，最短積分時間可達0.5ms高速測量，抗干擾性能強

光譜儀可根據(jù)不同應(yīng)用需求配置不同的光柵實現(xiàn)不同光譜范圍應(yīng)用，同時可以搭配不同光學附件以實現(xiàn)吸光度、透反射、熒光、LIBS、輻射測量等應(yīng)用CMOS探測器正在逐步發(fā)展并替代CCD，可以應(yīng)用于激光和LED等光源波長的表征，等離子氣體放電、LIBS激光誘導、原子發(fā)射元素光譜測量等方面，非常適合工業(yè)和科研應(yīng)用領(lǐng)域。

NF近場/FF遠場測試

NF 近場特性測試可實時監(jiān)測光點數(shù)統(tǒng)計、壞點/異常點標記，各發(fā)光點光功率一致性統(tǒng)計、光束束腰直徑、近場發(fā)散角、光束質(zhì)量因子M2；

FF 遠場特性測試可測量光斑發(fā)散角和能量空間分布，進而計算光斑準直度和對稱度，可測量光斑在不同距離的能量密度，用于激光安全性評價。

                               近場測試模塊原理                                                     遠場測試模塊原理

若您想對萊森光學關(guān)于NF近場特性測試/FF遠場特性測試的產(chǎn)品應(yīng)用有更深入透徹的了解認識，可跳轉(zhuǎn)以下鏈接進行閱讀。

VCSEL/LD近場測試系統(tǒng)：http://www.lisenoptics.cn/vcsel/ldjcclxt/751.html

VCSEL/LD遠場測試系統(tǒng)：http://www.lisenoptics.cn/vcsel/ldycclxt/752.html

推薦：

iSpec-VCS-IND光譜功率積分球測試儀

iSpec-VCS-IND光譜功率積分球測試儀由萊森光學專門針對VCSEL/LD工作頻率要求不高，不需要進行復(fù)雜的LIV、PCE功能測試分析測試研發(fā)而成，該系統(tǒng)性價比高，特別適合于工業(yè)用戶和自動化集成廠商。

LS-VCS-NF近場測試系統(tǒng)

隨著物聯(lián)網(wǎng)、AI、5G技術(shù)的發(fā)展，VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技術(shù)作為3D成像和傳感系統(tǒng)的核心技術(shù)，目前在人臉識別、3D感測、汽車自動駕駛、手勢偵測和VR(虛擬現(xiàn)實)/AR(增強現(xiàn)實)/MR(混合現(xiàn)實等應(yīng)用領(lǐng)域越來越受到關(guān)注。LS-VCS-NF近場測試系統(tǒng)是直接耦合成像鏡頭和光路模塊的一體化設(shè)計，可實時監(jiān)測光點數(shù)統(tǒng)計、壞點/異常點標記，各發(fā)光點光功率一致性統(tǒng)計、光束束腰直徑、近場發(fā)散角、光束質(zhì)量因子M2等。

LS-VCS-FF遠場系統(tǒng)

LS-VCS-FF遠場系統(tǒng)由萊森光學專門針對VCSEL遠場測試研發(fā)，可測量光斑發(fā)散角、DIP（光斑中心凹陷）和能量空間分布，進而計算光斑準直度和對稱度，可測量光斑在不同距離的能量密度，用于EC-60825-2激光人眼安全評測。