色散共焦光譜位移傳感器是萊森光學(xué)（LiSen Optics）集成了先進(jìn)光譜分析和共焦成像技術(shù)的高精度位移和厚度的最新測量工具。是現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化和精密測量領(lǐng)域中的前沿技術(shù)產(chǎn)品。其通過白光光源和色散元件的巧妙結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)精度的位移和厚度測量，可對樣品表面微小變化的進(jìn)行精確測量。

無論是在復(fù)雜的制造過程中，還是在精密的科研實(shí)驗(yàn)中，色散共焦光譜位移傳感器都能提供可靠的測量數(shù)據(jù)，幫助用戶實(shí)現(xiàn)高效、高質(zhì)量的生產(chǎn)和研究。并且色散共焦位移傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、材料科學(xué)、精密加工、半導(dǎo)體檢測和表面測量等領(lǐng)域。

 3D玻璃、陶瓷后蓋、石墨模具、手機(jī)部件

 太陽能電池、元件引腳共面、微結(jié)構(gòu)與蝕刻

 鏡片曲面、鏡片幾何尺寸、鏡片厚度間隙、玻璃測厚

 膠水涂層、薄膜膠片、鈑金表面

 硅片芯片、表面特性、形狀彎曲

 白光光源發(fā)出的光通過共焦孔

 光經(jīng)過色散元件，被分成不同波長的光

 不同波長的光通過物鏡，在樣品的不同深度聚焦

 當(dāng)樣品表面與某一波長的光聚焦平面一致時(shí)，該波長的光通過共焦孔并被光譜儀檢測到

 光譜儀記錄光譜數(shù)據(jù)，并通過數(shù)據(jù)處理確定樣品表面的高度和位移

 全方位測量：無死角設(shè)計(jì)避免角度限制和減少測量盲區(qū)，適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)的測量，如深溝結(jié)構(gòu)等。

 高精度成像：實(shí)現(xiàn)小至3微米成像光斑，提升線性精度和位移再現(xiàn)性，同時(shí)具備高達(dá)百納米級(jí)的超高重復(fù)性精度和線性精度。

 極高靈敏度：優(yōu)化光譜儀與高亮度光源，提高極微弱光強(qiáng)度的檢測能力，如透明物體。

 高光強(qiáng)：采用高亮LED光源，采用棱鏡方案，采用大面積線/面COMS提升光能利用率。

 多材料適應(yīng)性：支持多層膜層/膠合玻璃測量，能夠適應(yīng)各種復(fù)雜形狀的表面，保證不同材料測量性能。

 抗干擾設(shè)計(jì)：純光學(xué)器件探頭，光纖連接，避免電磁干擾。

 無損高速測量：非接觸式測量，可重復(fù)性好，34000 Hz采樣率適用于高速生產(chǎn)線。

 靈活配置成本控制：搭配不同配置提升測量精度，多通道控制器測量降低成本。