iSpec-XSR400系列微納器件光譜響應(yīng)度測試系統(tǒng)是一款專用于低維材料光電測試的系統(tǒng)。其功能全面，提供多種重要參數(shù)測試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描，光電流掃描以及光響應(yīng)速率測試。40μm探測光斑，實現(xiàn)百微米級探測器的絕對光譜響應(yīng)度測量。超高穩(wěn)定性光源支持長時間的連續(xù)測試，豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計可擴(kuò)展多路光源，例如超連續(xù)白光激光器，皮秒脈沖激光器，半導(dǎo)體激光器，鹵素?zé)?，氙燈等，滿足不同探測器測試功能的要求。是微納器件研究的優(yōu)選。

 光源可選氙燈光源、超連續(xù)白光光源、連續(xù)激光器、皮秒脈沖激光器

 制冷樣品臺溫度范圍-196℃-600℃（-196攝氏度需要選擇專用冷卻系統(tǒng)）

 示波器采樣率可達(dá)5GS/S，記錄長度10M

 可以引入可調(diào)單色光源，進(jìn)行全光譜范圍的光譜響應(yīng)度測試

紫外增強(qiáng)氙燈和EQ99光源的單色光能量曲線，使用40倍反射式物鏡，300mm焦距光譜儀，光譜儀使用1200刻線300nm閃耀光柵，光斑直徑大小80um。

光譜響應(yīng)度

外量子效率

單色光/變功率IV

不同輻照度IT曲線（分辨率200ms）

不同偏壓下的IT曲線

LBIC，Mapping

線性度測試

響應(yīng)速率測試